Осаждение из растворов многослойных пленок металлов на кремний

Abstract

Разработан метод осаждения из растворов многослойных пленок металлов и сплавов толщиной до 5—9 мкм на поверхность полированных пластин кремния. Показана необходимость создания и сохранения на всех стадиях обработки пластин функциональных силанольных групп, отвечающих за адгезионное взаимодействие в системе «кремний— металл». Подобран гипофосфитный раствор химического осаждения на поверхность полированного кремния тонкой плотной пленки Ni—P с размерами зерен ~0,1 мкм, имеющий рН 6,2, включающий добавку, снижающую внутренние напряжения, и обеспечивающий адгезию к подложке, достаточную для последующего осаждения из растворов пленок Ni, Pd, Pd—Ni, Au, Cu—Sn. Установлено, что при осаждении пленок металлов, их хранении и прогреве (280 °С) происходит формирование переходных зон, содержащих атомы элементов, входящих в состав как подложки (кремния), так и образующихся пленок. Толщина таких зон составляет от 1 до 3 мкм.