Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/25221
Title: Осаждение из растворов многослойных пленок металлов на кремний
Authors: Воробьева, Татьяна Николаевна
Кобец, Анна Вячеславовна
Рева, Ольга Владимировна
Врублевская, Ольга Николаевна
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
Issue Date: 2011
Publisher: БГУ
Citation: Свиридовские чтения: сб.ст. Вып.7/отв. ред. Т.Н.Воробьева
Series/Report no.: 7
Abstract: Разработан метод осаждения из растворов многослойных пленок металлов и сплавов толщиной до 5—9 мкм на поверхность полированных пластин кремния. Показана необходимость создания и сохранения на всех стадиях обработки пластин функциональных силанольных групп, отвечающих за адгезионное взаимодействие в системе «кремний— металл». Подобран гипофосфитный раствор химического осаждения на поверхность полированного кремния тонкой плотной пленки Ni—P с размерами зерен ~0,1 мкм, имеющий рН 6,2, включающий добавку, снижающую внутренние напряжения, и обеспечивающий адгезию к подложке, достаточную для последующего осаждения из растворов пленок Ni, Pd, Pd—Ni, Au, Cu—Sn. Установлено, что при осаждении пленок металлов, их хранении и прогреве (280 °С) происходит формирование переходных зон, содержащих атомы элементов, входящих в состав как подложки (кремния), так и образующихся пленок. Толщина таких зон составляет от 1 до 3 мкм.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/25221
Appears in Collections:2011. Свиридовские чтения. Выпуск 7

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
pages from Svirid cht_7__+3а.pdf1,36 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.