Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/235634Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Наливайко, О. Ю. | - |
| dc.contributor.author | Турцевич, А. С. | - |
| dc.contributor.author | Завадский, С. М. | - |
| dc.contributor.author | Жигулин, Д. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2019-12-10T07:42:50Z | - |
| dc.date.available | 2019-12-10T07:42:50Z | - |
| dc.date.issued | 2019-11 | - |
| dc.identifier.citation | Квантовая электроника : материалы XII Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 18–22 нояб. 2019 г. / редкол.: М. М. Кугейко (отв. ред.) [и др.]. – Минск : РИВШ, 2019. – С.157-158. | ru |
| dc.identifier.isbn | 978-985-586-281-0 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/235634 | - |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Минск : РИВШ | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления | ru |
| dc.type | conference paper | ru |
| dc.rights.license | CC BY 4.0 | ru |
| Appears in Collections: | 2019. Квантовая электроника | |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 157_Наливайко.pdf | 627,74 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.