Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/233824| Заглавие документа: | Динамика отражательной способности и модификация тонких пленок TiAlN/Si при импульсном лазерном нагреве |
| Другое заглавие: | Reflectivity Dynamics and Modification of TiAlN/Si Thin Films Under Pulsed Laser Heating / G.D. Ivlev, V.A. Zaikov, I.M. Klimovich, O.R. Liudchik |
| Авторы: | Ивлев, Г. Д. Зайков, В. А. Климович, И. М. Людчик, О. Р. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2019 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids : материалы 13-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 30 сент. – 3 окт. 2019 г. / редкол.: В. В. Углов (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2019. – С. 60-63. |
| Аннотация: | Тонкие пленки TiAlN (0.5 мкм), сформированные на подложках кремния методом магнетронного распыления составной мишени, облучались одиночными наносекундными (70 нс) импульсами рубинового лазера с целью изучения динамики отражательной способности R облучаемой зоны на длинах волн зондирующего излучения λ 1 = 0.53 и λ 2 = 1.06 мкм и морфологии облученных зон. Наблюдается возрастание R на λ 1 и одновременное уменьшение на λ 2 с усилением эффекта по мере повышения плотности энергии облучения W в интервале 0.6-0.9 Дж/см 2 , ограниченном сверху порогом лазерной абляции нитрида ~ 1 Дж/см 2 . Лазерно-индуцированные термические напряжения в модифицируемом слое TiAlN приводят к образованию в нем сетки трещин. При повышении W формируется более развитой сетчатая/ячеистая структуры пленки с меньшим средним размером ячеек. |
| Аннотация (на другом языке): | TiAlN thin films (0.5 μm) on silicon substrates have been prepared by magnetron sputtering of a composite target and were irradiated by single nanosecond (70 ns) ruby laser pulses in order to study the dynamics reflectivity R of the laser-irradiated zone at the wave-lengths λ 1 = 0.53 and λ 2 = 1.06 μm of probing radiation and morphology of the irradiated zones. It is observed a R increase at λ 1 with simultaneous decrease at λ 2 with the intencification of this effect as far as the irradiation energy density W grows in the range at 0.6 to 0.9 J/cm 2 an limited by the upper level at ~ 1 J/cm 2 for the laser nitride ablation threshold. Laser- initiated thermal stresses in the modified TiAlN layer evoke the formation of cracks net inside it/ It is formed a more extended cell/net structure of the film with smaller average size of cells at the W increase. |
| Доп. сведения: | Секция 1. Процессы взаимодействия излучения и плазмы с твердым телом = Section 1. Processes of Radiation and Plasma Interaction with Solids |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/233824 |
| ISSN: | 2663-9939 |
| Располагается в коллекциях: | 2019. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.