Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/222717
Title: | Быстрые термообработки в технологии СБИС / В. А. Пилипенко |
Authors: | Пилипенко, В. А. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2004 |
Publisher: | Минск : Изд. центр БГУ |
Abstract: | В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света. Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для геттерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных эпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлектронного профиля. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/222717 |
ISBN: | 985-476-251-3 |
Appears in Collections: | Монографии физического факультета |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Быстрые термообработки в техологии сбис.pdf | 37,46 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.