Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/222717
Title: Быстрые термообработки в технологии СБИС / В. А. Пилипенко
Authors: Пилипенко, В. А.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2004
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Abstract: В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света. Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для геттерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных эпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлектронного профиля.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/222717
ISBN: 985-476-251-3
Appears in Collections:Монографии физического факультета

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Быстрые термообработки в техологии сбис.pdf37,46 MBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.