Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215247
Title: Роль термодинамики при выборе прекурсоров под осаждение DLC покрытий
Other Titles: The role of thermodynamics in the selection of precursors for deposition of DLC coatings / A. A. Kovalevskiy, D. A. Kotov, K. A. Korzun, S. A. Nikitiuk, S. V. Granko
Authors: Ковалевский, А. А.
Котов, Д. А.
Корзун, К. А.
Никитюк, С. А.
Гранько, С. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2018
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 261-266.
Abstract: Проведены численные расчеты энергий разрыва химических связей и изменения энергии Гиббса с температурой для соединений, представляющих интерес в технологии производства алмазоподобных углеродных покрытий. При проведении термодинамических расчетов реакций разложения углеводородов до углерода особое внимание было сосредоточено на метане (СН4), этилене (С2Н4),ацетилене (С2Н2) и гексилене (С6Н12), поскольку они привлекательны, благодаря минимальному соотношению в их структуре между атомами углерода и водорода. Показано, что из всех рассмотренных углеводородов и механизмов их разложения наиболее перспективным для формирования алмазоподобных (DLC) пленок является ацетилен.
Abstract (in another language): Numerical calculations of the energy of chemical bonds opening and changes in Gibbs energy with temperature for compounds of interest in diamond-like carbon coating production technology are performed. When carrying out thermodynamic calculations of reactions of decomposition of hydrocarbon to carbon, special attention was focused on methane (CH4), ethylene (C2H4), acetylene (C2H2) and hexylene (C6H12), because they are most suitable due to the minimum ratio between carbon and hydrogen atoms in their structure. It is shown that of all the hydrocarbons considered and the mechanisms of their decomposition, acetylene is the most promising for the formation of diamond-like (DLC) films.
Description: Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215247
ISBN: 978-985-566-671-5
Appears in Collections:2018. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
261-266.pdf368,38 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.