Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215246
Title: Исследование кинетики роста и оптических свойств DLC покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда
Other Titles: Research of growth kinetics and optical properties of DLC coatings in the decomposition of acetylene in a low-temperature high-density plasma of an induction discharge / A. A. Kovalevskiy, D. A. Kotov, K. A. Korzun, A. A. Yasunas, S. V. Granko
Authors: Ковалевский, А. А.
Котов, Д. А.
Корзун, К. А.
Ясюнас, А. А.
Гранько, С. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2018
Publisher: Минск : БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : материалы VIII Междунар. науч. конф., Минск, 10–12 окт. 2018 г. / Белорус. гос. ун-т ; редкол.: В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. – Минск : БГУ, 2018. – С. 255-261.
Abstract: Исследованы кинетика роста и оптические свойства алмазоподобных углеродных (DLC) покрытий при разложении ацетилена в низкотемпературной высокоплотной плазме индукционного разряда. Установлено, что основными факторами, влияющими на скорость осаждения и оптические свойства наноструктурированных алмазоподобных покрытий в высокоплотной плазме индукционного разряда, являются: тип прекурсоров, качество исходной подложки, общее давление газовой смеси, парциальное давление каждого из прекурсоров и величина подводимой к разряду ВЧ-мощности.
Abstract (in another language): Growth kinetics and optical properties of diamond-like carbon (DLC) coatings in the decomposition of acetylene in a low-temperature high-density plasma of an induction discharge have been studied. It has been established that the main factors influencing deposition rate and optical properties of nanostructured diamond-like coatings in high-density plasma of induction discharge are the type of precursors, the quality of the initial substrate, the total pressure of the gas mixture, the partial pressure of each of the precursors, and the amount of RF power supplied to the discharge.
Description: Нанотехнологии, наноструктуры, квантовые явления. Наноэлектроника. Приборы на квантовых эффектах
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/215246
ISBN: 978-985-566-671-5
Appears in Collections:2018. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
255-261.pdf392,74 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.