Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20691
Заглавие документа: Стехиометрия, фазовый состав и свойства сверхтвердых наноструктурных пленок Ti−Hf−Si−N, полученные с помощью вакуумно-дугового источника в высокочастотном разряде
Авторы: Погребняк, А. Д.
Шпак, А. П.
Береснев, В. М.
Кирик, Г. В.
Колесников, Д. А.
Комаров, Ф. Ф.
Конарский, П.
Махмудов, Н. А.
Каверин, М. В.
Грудницкий, В. В.
Тема: физика и астрономия
Дата публикации: 2011
Библиографическое описание источника: Журнал технической физики. - 2011. - № 13. - С. 90-97.
Аннотация: Получены сверхтвердые наноструктурные покрытия (пленки) на основе Ti−Hf−Si−N с высокими физико-механическими свойствами. С помощью ядерных и атомно-физических методов анализа RBS, SIMS, GT-MS, SEM с EDXS, XRD и наноиндентирования были исследованы элементный, фазовый состав и морфология этих пленок в зависимости от подаваемого на них потенциала смещения на подложку и давления в камере. Обнаружено, что при уменьшении размера нанозерен nc-(Ti,Hf)N от 6.7 до 5 nm и формировании -Si3N4 (аморфной или квазиаморфной фазы как прослойки между нанозернами) возрастает нанотвердость от 42.7 до 48.4−1.6 GPa, однако дальнейшее уменьшение размера кристаллитов (Ti,Hf)N до 4.0 приводит к незначительному уменьшению твердости. Определена стехиометрия состава пленки, которая изменяется от (Ti25−Hf12.5−Si12.5)N50 до композиции (Ti28−Hf18−Si9)N45, также изменяется значение параметра решетки твердого раствора (Ti,Hf)N.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20691
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
ПЖТФ 2011 т 37 выпуск 13 p90-97.pdf385,46 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.