Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/20486| Заглавие документа: | Новый нанопористый материал на основе аморфного диоксида кремния |
| Авторы: | Власукова, Л. А. Комаров, Ф. Ф. Ювченко, В. Н. Мильчанин, О. В. Дидык, А. Ю. Скуратов, В. А. Кислицын, С. Б. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2012 |
| Библиографическое описание источника: | Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 653-658. |
| Аннотация: | Исследованы процессы создания нанопористых слоев SiO2 на Si путем облучения термически оксидированных подложек кремния быстрыми ионами с последующей химической обработкой в растворах или парах фтористоводородной кислоты. Показано, что плотность, форму, диаметр и соот ношение длина/диаметр вытравленных в диоксиде кремния каналов можно контролировать, изме няя режимы облучения быстрыми ионами или химической обработки структур SiO2/Si. Проведено сравнение параметров трекообразования, рассчитанных в рамках модели термического пика, с данными химического травления. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/20486 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| IFI0653.pdf | 2,63 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.