Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20486
Заглавие документа: Новый нанопористый материал на основе аморфного диоксида кремния
Авторы: Власукова, Л. А.
Комаров, Ф. Ф.
Ювченко, В. Н.
Мильчанин, О. В.
Дидык, А. Ю.
Скуратов, В. А.
Кислицын, С. Б.
Тема: физика и астрономия
Дата публикации: 2012
Библиографическое описание источника: Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 653-658.
Аннотация: Исследованы процессы создания нанопористых слоев SiO2 на Si путем облучения термически оксидированных подложек кремния быстрыми ионами с последующей химической обработкой в растворах или парах фтористоводородной кислоты. Показано, что плотность, форму, диаметр и соот ношение длина/диаметр вытравленных в диоксиде кремния каналов можно контролировать, изме няя режимы облучения быстрыми ионами или химической обработки структур SiO2/Si. Проведено сравнение параметров трекообразования, рассчитанных в рамках модели термического пика, с данными химического травления.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/20486
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
IFI0653.pdf2,63 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.