Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/20474| Заглавие документа: | Коимплантация атомов амфотерных примесей для управления процессами диффузии бора при быстрых термообработках |
| Авторы: | Макаревич, Ю. В. Комаров, Ф. Ф. Комаров, А. Ф. Миронов, А. М. Заяц, Г. М. Мискевич, С. А. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2012 |
| Библиографическое описание источника: | Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - № 5. - С. 643-646. |
| Аннотация: | Разработана модель диффузионных процессов, происходящих при быстром термическом отжиге в кремниевых структурах, имплантированных бором и углеродом. Эта модель учитывает кластеризацию бора, а также влияние на его диффузию углерода. Описан процесс переноса междоузельных атомов с учетом внутренних упругих напряжений. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/20474 |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ПФП |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| IFI0643.pdf | 248,38 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.