Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/195153| Заглавие документа: | Оптимизация процесса формирования диэлектрических микроволноводов на основе системы полимер/SіО2/Sі |
| Авторы: | Леонтьев, Александр Викторович |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издатель: | Минск : БГУ |
| Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2004. - № 2. – С. 45-52. |
| Аннотация: | Physical and mathematical aspects of optimization of the forming process of dielectric microwaveguides on the basis of polymer/ SіО2/Sі system with the usage of ion irradiation technology is presented. The chance sequence of parameters of implanted particles is shown. This sequence allows to simplify development of technological aspects of the formation of stepped and gradient microwaveguides on the basis of considered system. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/195153 |
| ISSN: | 0321-0367 |
| Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
| Располагается в коллекциях: | 2004, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.