Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/194982
Title: | Оборудование для быстрой термообработки (БТО) в технологии создания СБИС |
Authors: | Точицкий, Я. И. Матюшков, В. Е. Русецкий, А. М. Пилипенко, В. А. Пономарь, В. М. Людчик, О. Р. |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Issue Date: | 2000 |
Publisher: | Минск : Універсітэцкае |
Citation: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2000. - № 1. – С. 33-37. |
Abstract: | A modem RTP system is an automated device with a cassette-assisted loading and unloa-ding, design modifications of which are adapted for the specific thermal processing (annealing, oxidizing, etc). |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/194982 |
ISSN: | 0321-0367 |
Licence: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Appears in Collections: | 2000, №1 (январь) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.