Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182249
Заглавие документа: Формирование оптически-прозрачных кремниевых покрытий методом магнетронного распыления
Другое заглавие: Formation of thin silicon coatings by magnetron sputtering method / I.M. Klimovich, V.A. Zaikov, I.A. Romanov, Yu.N. Osin, A.M. Rogov, A.L. Stepanov
Авторы: Климович, И. М.
Зайков, В. А.
Романов, И. А.
Осин, Ю. Н.
Рогов, А. М.
Степанов, А. Л.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2017
Издатель: Минск: Изд. центр БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 329-330.
Аннотация: Методами атомно-силовой микроскопии и спектрофотометрии исследованы морфология поверхности и оптические характеристики Si покрытий, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что технологические параметры (температура подложки и потенциал смещения) магнетронного распыления влияют на морфологию поверхности пленок Si (появление на поверхности нитевидных структур и/или круглых углублений) и на положения минимумов и максимумов в спектрах отражения и пропускания = The surface morphology and optical properties of Si coatings formed by magnetron sputtering were studied using atomic force microscopy and spectrophotometry methods. It has been found that the magnetron sputtering technological parameters (substrate temperature and bias potential) influence on the morphology of the silicon coatings surface (filamentous structures and/or round holes appearance) and on the coefficients minima and maxima reflectance and transmittance spectra location
Доп. сведения: Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктур
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182249
ISBN: 978-985-553-446-5
Располагается в коллекциях:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
329-330.pdf400,58 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.