Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182249
Title: Формирование оптически-прозрачных кремниевых покрытий методом магнетронного распыления
Other Titles: Formation of thin silicon coatings by magnetron sputtering method / I.M. Klimovich, V.A. Zaikov, I.A. Romanov, Yu.N. Osin, A.M. Rogov, A.L. Stepanov
Authors: Климович, И. М.
Зайков, В. А.
Романов, И. А.
Осин, Ю. Н.
Рогов, А. М.
Степанов, А. Л.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2017
Publisher: Минск: Изд. центр БГУ
Citation: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 329-330.
Abstract: Методами атомно-силовой микроскопии и спектрофотометрии исследованы морфология поверхности и оптические характеристики Si покрытий, сформированных методом магнетронного распыления. Обнаружено, что технологические параметры (температура подложки и потенциал смещения) магнетронного распыления влияют на морфологию поверхности пленок Si (появление на поверхности нитевидных структур и/или круглых углублений) и на положения минимумов и максимумов в спектрах отражения и пропускания = The surface morphology and optical properties of Si coatings formed by magnetron sputtering were studied using atomic force microscopy and spectrophotometry methods. It has been found that the magnetron sputtering technological parameters (substrate temperature and bias potential) influence on the morphology of the silicon coatings surface (filamentous structures and/or round holes appearance) and on the coefficients minima and maxima reflectance and transmittance spectra location
Description: Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктур
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182249
ISBN: 978-985-553-446-5
Appears in Collections:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
329-330.pdf400,58 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.