Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/182239
Заглавие документа: | Наблюдение методом спектральной эллипсометрии аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра |
Другое заглавие: | Comparative observation of silicon amorphization under low fluence silver ions implantation by spectroscopic ellipsometry / Valery Bazarov, Vladimir Nuzhdin, Valery Valeev, Andrey Stepanov |
Авторы: | Базаров, В. В. Нуждин, В. И. Валеев, В. В. Степанов, А. Л. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | 2017 |
Издатель: | Минск: Изд. центр БГУ |
Библиографическое описание источника: | Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 304-305. |
Аннотация: | Представлены результаты исследований методом спектральной эллипсометрии (СЭ) аморфного кремния (α-Si), сформированного на поверхности монокристаллических подложек (c-Si) низкодозовой и низкоэнергетической имплантацией ионов серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ и плотностью ионного тока в пучке (0.1 – 5) мкА/см2 в интервале доз (6.24·1012-1.3·1016) ион/см2 при комнатной температуре облучаемых подложек. Был обнаружен эффект увеличения скорости генерации дефектов с увеличением плотности ионного тока = The results of studies by spectroscopic ellipsometry of amorphous silicon (α-Si) subjected to low-energy implantation of silver ions are presented. Implantation was carried out with an energy of 30 keV at a fluence range (6.241012-1.31016) ions/cm2 and the current density of (0.1-5) A/cm2 at room temperature of the irradiated substrate Si. For the three implantation fluencies of 3.21013, 6.21013 and 1.81014 ions/cm2 irradiation were carried out with various ion current densities ranged from 0.1 to 5 A/cm2. The effect of an increase in the defect generation rate with an increase in the ion current density was observed |
Доп. сведения: | Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктур |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/182239 |
ISBN: | 978-985-553-446-5 |
Располагается в коллекциях: | 2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
304-305.pdf | 499,84 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.