Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: https://elib.bsu.by/handle/123456789/182239
Заглавие документа: Наблюдение методом спектральной эллипсометрии аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра
Другое заглавие: Comparative observation of silicon amorphization under low fluence silver ions implantation by spectroscopic ellipsometry / Valery Bazarov, Vladimir Nuzhdin, Valery Valeev, Andrey Stepanov
Авторы: Базаров, В. В.
Нуждин, В. И.
Валеев, В. В.
Степанов, А. Л.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2017
Издатель: Минск: Изд. центр БГУ
Библиографическое описание источника: Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids: материалы 12-й Междунар. конф., Минск, Беларусь, 19—22 сент. 2017 г. / редкол.: В.В. Углов (отв.ред.) [и др.]. — Минск: Изд. центр БГУ, 2017. — С. 304-305.
Аннотация: Представлены результаты исследований методом спектральной эллипсометрии (СЭ) аморфного кремния (α-Si), сформированного на поверхности монокристаллических подложек (c-Si) низкодозовой и низкоэнергетической имплантацией ионов серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ и плотностью ионного тока в пучке (0.1 – 5) мкА/см2 в интервале доз (6.24·1012-1.3·1016) ион/см2 при комнатной температуре облучаемых подложек. Был обнаружен эффект увеличения скорости генерации дефектов с увеличением плотности ионного тока = The results of studies by spectroscopic ellipsometry of amorphous silicon (α-Si) subjected to low-energy implantation of silver ions are presented. Implantation was carried out with an energy of 30 keV at a fluence range (6.241012-1.31016) ions/cm2 and the current density of (0.1-5) A/cm2 at room temperature of the irradiated substrate Si. For the three implantation fluencies of 3.21013, 6.21013 and 1.81014 ions/cm2 irradiation were carried out with various ion current densities ranged from 0.1 to 5 A/cm2. The effect of an increase in the defect generation rate with an increase in the ion current density was observed
Доп. сведения: Секция 4. Пучковые методы формирования наноматериалов и наноструктур
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/182239
ISBN: 978-985-553-446-5
Располагается в коллекциях:2017. Взаимодействие излучений с твердым телом = Interaction of Radiation with Solids

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
304-305.pdf499,84 kBAdobe PDFОткрыть
Показать полное описание документа Статистика Google Scholar



Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.