Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/179816Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Просолович, Владислав Савельевич | - |
| dc.date.accessioned | 2017-09-04T16:56:42Z | - |
| dc.date.available | 2017-09-04T16:56:42Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/179816 | - |
| dc.description.abstract | Программа «Ионно-радиационные методы модификации материалов» разработана для специальности 1-31 04 01 Физика ( по направлениям). В данном курсе рассмотрены физические принципы и явления, лежащие в основе современных ионно-радиационных технологий, применяемых в микроэлектронике, как наиболее наукоемкой отрасли производства. Даны основные понятия ионной технологии твердых тел и ее основные параметры, физические основы катодного распыления, методы ионного распыления, технологические особенности ионно-плазменного распыления, трансмутационного легирования, корректировки эксплуатационных параметров полупроводниковых приборов ионизирующими излучениями. Анализируются достоинства и недостатки каждого из методов, их применимость для реализации в конкретных видах полупроводниковых приборов в зависимости от их электрофизических, оптических, рекомбинационных, магнитных свойств. | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.title | Ионно-радиационные методы модификации материалов | ru |
| dc.type | syllabus | ru |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники | |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Ионно-радиацион. методы модификации материалов.pdf | 1,73 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.