Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179816
Заглавие документа: Ионно-радиационные методы модификации материалов
Авторы: Просолович, Владислав Савельевич
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2014
Аннотация: Программа «Ионно-радиационные методы модификации материалов» разработана для специальности 1-31 04 01 Физика ( по направлениям). В данном курсе рассмотрены физические принципы и явления, лежащие в основе современных ионно-радиационных технологий, применяемых в микроэлектронике, как наиболее наукоемкой отрасли производства. Даны основные понятия ионной технологии твердых тел и ее основные параметры, физические основы катодного распыления, методы ионного распыления, технологические особенности ионно-плазменного распыления, трансмутационного легирования, корректировки эксплуатационных параметров полупроводниковых приборов ионизирующими излучениями. Анализируются достоинства и недостатки каждого из методов, их применимость для реализации в конкретных видах полупроводниковых приборов в зависимости от их электрофизических, оптических, рекомбинационных, магнитных свойств.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/179816
Располагается в коллекциях:Семестр 9. Ионно-радиационные методы модификации материалов

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Ионно-радиацион. методы модификации материалов.pdf1,73 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.