Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/178737| Title: | Оптические свойства пленок нитрида кремния, полученных методом реактивного магнетронного распыления |
| Authors: | Романов, И. А. Климович, И. М. Комаров, Ф. Ф. Зайков, В. А. Пархоменко, И. Н. Крекотень, Н. А. |
| Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Issue Date: | 2017 |
| Citation: | Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния : материалы четвертой Междунар. науч.-практ. конф., Минск, 11–12 мая 2017 г. / М-во образования Респ. Беларусь, НИУ «Ин-т приклад. физ. проблем им. А. Н. Севченко» Белорус. гос. ун-та; редкол.: В. И. Попечиц (гл. ред.), Ю. И. Дудчик, Г. А. Сенкевич. – Минск, 2017. – С. 284-286. |
| Abstract: | В работе представлены результаты исследований оптических свойств пленок нитрида кремния нестехиометрического состава, полученных методом реактивного магнетронного распыления в импульсном режиме высокой мощности при постоянном токе разряда равном 1,5 А. Установлено, что увеличение парциального давления азота приводит к уменьшению показателя преломления и скорости осаждения нитридного слоя. Полученные пленки обладают фотолюминесценцией в широкой области видимого спектра с максимумом в диапазоне 450 - 500 нм |
| Description: | Секция 4. Прикладные проблемы физики конденсированного состояния |
| URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/178737 |
| Appears in Collections: | 2017. Прикладные проблемы оптики, информатики, радиофизики и физики конденсированного состояния |
Files in This Item:
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| 284-286.pdf | 421,53 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.