Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/174907
Title: Анизотропное растворение монокристаллического кремния вблизи края химической маски на поверхности (001)
Other Titles: Anisotropic Etching of Single-Crystalline Silicon Near by the Chemical Mask Edge on (001) Surface / A. E. Usenko, A. V. Yukhnevich
Authors: Усенко, А. Е.
Юхневич, А. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия
ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2009
Publisher: Москва : Наука
Citation: Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования. - 2009. - № 8. - С. 64-70.
Abstract: Изучены особенности микро- и нанорельефа поверхности (001) монокристаллов кремния, формирующегося вблизи вершины прямого выпуклого угла химической маски с направлением сторон вдоль (110) и (100) при травлении водными растворами KOH (8-16 моль/л) в диапазоне температур 60-80°C. Исследование рельефа проводили при помощи сканирующего электронного микроскопа LE0-1420 и микроинтерферометра МИИ-4. Установлено, что микроплоскости, формирующиеся непосредственно у вершины выпуклого угла маски, не являются совершенными низкоиндексными микрогранями кристалла. Определена зависимость кристаллографической ориентации плоскостей от условий эксперимента, измерены нормальные скорости травления этих плоскостей. Проведена оценка зависимости эффективной энергии активации процесса растворения изученных поверхностей от концентрации KOH = The features of micro- and nanorelief of Si (001) surface self-formed near by a right convex corner and a linear edge of a chemical mask ((110)- and (100)-oriented) under etching in aqueous KOH solutions (8-16 mol/l) at temperatures 60-80°C were studied. The relief was investigated by means of scanning electron microscope LEO-1420 and microinterferometer MII-4. The microfacets self-formed near the convex corner were found not to be perfect low index planes of the crystal. Dependence of crystallographic orientation and etch rate of the microfacets on the experimental conditions were obtained. Dependence of effective activation energy of the surfaces under investigation on KOH content was estimated
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/174907
ISSN: 0207-3528
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
64-70.pdf372,87 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.