Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorУсенко, А. Е.-
dc.contributor.authorЮхневич, А. В.-
dc.date.accessioned2017-06-09T07:18:03Z-
dc.date.available2017-06-09T07:18:03Z-
dc.date.issued2008-
dc.identifier.citationИзвестия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2009. - № 2. - С. 38-43.ru
dc.identifier.issn1609-3597-
dc.identifier.urihttp://elib.bsu.by/handle/123456789/173698-
dc.description.abstractЭкспериментально изучены особенности выявления микродефектов (МД) в бездислокационных монокристаллах кремния методом дефектконтрастного селективного растворения в травителях типа HF-СгОз—НгО и HF— КгСггОт—НгО. Показана зависимость формы и размера индивидуального следа МД от вида травителя, времени травления (толщины стравленного слоя), типа микродефекта. Подобраны составы травителей, обеспечивающие эффективное формирование дефект-контрастного рельефа травленой поверхностиru
dc.language.isoruru
dc.publisherМосква : МИСиСru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физикаru
dc.subjectЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химияru
dc.titleВыявление микродефектов в совершенных монокристаллах кремния методом селективного растворенияru
dc.typejournal articleru
Appears in Collections:Статьи сотрудников НИИ ФХП

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
38-43.PDF972,1 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.