Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/173698Полная запись метаданных
| Поле DC | Значение | Язык |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Усенко, А. Е. | - |
| dc.contributor.author | Юхневич, А. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2017-06-09T07:18:03Z | - |
| dc.date.available | 2017-06-09T07:18:03Z | - |
| dc.date.issued | 2008 | - |
| dc.identifier.citation | Известия высших учебных заведений. Материалы электронной техники. - 2009. - № 2. - С. 38-43. | ru |
| dc.identifier.issn | 1609-3597 | - |
| dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/173698 | - |
| dc.description.abstract | Экспериментально изучены особенности выявления микродефектов (МД) в бездислокационных монокристаллах кремния методом дефектконтрастного селективного растворения в травителях типа HF-СгОз—НгО и HF— КгСггОт—НгО. Показана зависимость формы и размера индивидуального следа МД от вида травителя, времени травления (толщины стравленного слоя), типа микродефекта. Подобраны составы травителей, обеспечивающие эффективное формирование дефект-контрастного рельефа травленой поверхности | ru |
| dc.language.iso | ru | ru |
| dc.publisher | Москва : МИСиС | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
| dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия | ru |
| dc.title | Выявление микродефектов в совершенных монокристаллах кремния методом селективного растворения | ru |
| dc.type | journal article | ru |
| Располагается в коллекциях: | Статьи сотрудников НИИ ФХП | |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.