Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/17023
Заглавие документа: Формирование водородо-индуцированиых дефектов и их применение в технологиях микро- и оптоэлектроники
Авторы: Комаров, Ф. Ф.
Мильчанин, О. В.
Миронов, А. М.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: сен-2006
Издатель: БГУ
Библиографическое описание источника: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2006. - № 3. – С. 56-62.
Аннотация: A few important implementations of proton beam induced damage in crystals to produce unique structures for microelectronics and optoelectronics are presented. = Представлен ряд разработок, доведенных до технологического исполнения, позволяющих по­лучать уникальные структуры с использованием протонных пучков: создание структур кремний-на-изоляторе, создание внутренних геттерирующих слоев в кремнии и формирование межприбор­ной изоляции на полупроводниках А3В5.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/17023
ISSN: 0321-0367
Располагается в коллекциях:2006, №3 (сентябрь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
56-62.pdf375,75 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.