Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/170223
Заглавие документа: Новый нанопористый материал на основе аморфного диоксида кремния
Авторы: Власукова, Л. А.
Комаров, Ф. Ф.
Ювченко, В. Н.
Мильчанин, О. В.
Дидык, А. Ю.
Скуратов, В. А.
Кислицын, С. Б.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2012
Библиографическое описание источника: Известия РАН. Серия физическая. - 2012. - Том 76, № 5. - С. 653–658.
Аннотация: Исследованы процессы создания нанопористых слоев SiO2 на Si путем облучения термически оксидированных подложек кремния быстрыми ионами с последующей химической обработкой в растворах или парах фтористоводородной кислоты. Показано, что плотность, форму, диаметр и соотношение длина/диаметр вытравленных в диоксиде кремния каналов можно контролировать, изменяя режимы облучения быстрыми ионами или химической обработки структур SiO2/Si. Проведено сравнение параметров трекообразования, рассчитанных в рамках модели термического пика, с данными химического травления
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/170223
ISSN: 0367-6765
Располагается в коллекциях:Статьи сотрудников НИИ ПФП

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
653–658.PDF2,63 MBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.