Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/165416
Title: Влияние режимов реактивного магнетронного нанесения на структурные и электрофизические свойства покрытий Ti-Al-N
Authors: Климович, И. М.
Зайков, В. А.
Семенева, Н. В.
Keywords: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Issue Date: 2016
Publisher: Минск : Изд. центр БГУ
Citation: Материалы и структуры современной электроники : сб. науч. тр. VII Междунар. науч. конф., посвящ. 50-летию каф. физики полупроводников и наноэлектроники, Минск, 12–13 окт. 2016 г. / редкол. : В. Б. Оджаев (отв. ред.) [и др.]. — Минск : Изд. центр БГУ, 2016. — С. 248–251.
Abstract: Задачей данного исследования является выявление зависимости удельного сопротивления и распределения размеров структурных элементов Ti–Al–N покрытий от температуры и потенциала смещения на подложке во время осаждения методом реактивного магнетронного распыления.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/165416
ISBN: 978-985-553-403-8
Sponsorship: Белорусский республиканский фонд фундаментальных исследований.
Appears in Collections:2016. Материалы и структуры современной электроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
С.248-251_Климович.pdf447,51 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.