Применение спек­трометра POP с повышенным энергетическим разрешением для измерения профилей кон­центрации мелкозалегаюшей примеси и параметров ионных пучков

Abstract

Basing on experimental results it is shown that RBS spectrometer with electrostatic analyzer as a sensor can be successfully applied both for shallow depth impurities profiling and also for mea surements such ion beam parameters, as energy and energy width. = С помощью спектрометра резерфордовского обратного рассеяния (POP) с электростатическим анализатором исследовались процессы сегрегации имплантированной примеси на границе раздела кремний - оксид кремния: образцы кремния, легированные ионами мышьяка с энергией 32 кэВ и дозой 1*1015см-2 и термически окисленные (оценочная толщина SiO2 4 нм) в течение 10 с при f=1050 °С. Представлен спектр POP отожженного образца и рассчитанный по нему профиль рас­пределения атомов As по глубине. Спектрометр POP использовался для измерения энергии ионов и их энергетических распределений в пучке ускорителя нейтронного генератора ОИЭЯИ-Сосны для возможного применения ускорителя в качестве имплантера для создания геттерирующих слоев и кремний-на-изоляторе структур.