Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/15912
Заглавие документа: Применение спек­трометра POP с повышенным энергетическим разрешением для измерения профилей кон­центрации мелкозалегаюшей примеси и параметров ионных пучков
Авторы: Бойко, Е. Б.
Камышан, А. М.
Комаров, Ф. Ф.
Лагутин, А. Е.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: янв-2006
Издатель: БГУ
Библиографическое описание источника: Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2006. - № 1. – С. 33-37.
Аннотация: Basing on experimental results it is shown that RBS spectrometer with electrostatic analyzer as a sensor can be successfully applied both for shallow depth impurities profiling and also for mea surements such ion beam parameters, as energy and energy width. = С помощью спектрометра резерфордовского обратного рассеяния (POP) с электростатическим анализатором исследовались процессы сегрегации имплантированной примеси на границе раздела кремний - оксид кремния: образцы кремния, легированные ионами мышьяка с энергией 32 кэВ и дозой 1*1015см-2 и термически окисленные (оценочная толщина SiO2 4 нм) в течение 10 с при f=1050 °С. Представлен спектр POP отожженного образца и рассчитанный по нему профиль рас­пределения атомов As по глубине. Спектрометр POP использовался для измерения энергии ионов и их энергетических распределений в пучке ускорителя нейтронного генератора ОИЭЯИ-Сосны для возможного применения ускорителя в качестве имплантера для создания геттерирующих слоев и кремний-на-изоляторе структур.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/15912
ISSN: 0321-0367
Располагается в коллекциях:2006, №1 (январь)

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
33-37.pdf270,27 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.