Разработка и исследование наноструктурированных покрытий на основе нитрида титана, легированного хромом, кремнием и алюминием : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ; научный руководитель С.В. Константинов

Abstract

Объектом исследования являются наноструктурированные покрытия на основе нитрида титана с добавлением алюминия, кремния, хрома, нанесённые методом реактивного магнетронного осаждения. Цель работы – изучить структурные характеристики и эксплуатационные свойства наноструктурированных покрытий на основе нитрида титана с дополнительным легированием. Были применены следующие методы исследования: спектроскопия резерфордовского обратного рассеяния ионов (RBS), спектроскопия протонно-индуцированного рентгеновского излучения (PIXE), просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ), рентгеноструктурный фазовый анализ (XRD), наноиндентирование, микроиндентирование, испытания на износостойкость. В результате изучено влияние типа подложки на структуру и эксплуатационные свойства тонкоплёночных наноструктурированных покрытий. Проанализированы работы в этой области, описывающие оптимальные методы нанесения, исследования наноструктурированных покрытий. Проведено исследование структуры, элементного, фазового состава покрытий TiN, TiAlN, TiCrN, TiSiN на различных типах подложки. Исследованы микро- и нанотвёрдость, трещиностойкость и характер разрушения покрытий. Полученные результаты могут быть использованы во многих приложения современной техники и машиностроения, а также в космической технике.