Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/14077
Заглавие документа: | Исследование дефектности поверхности монокристаллических подложек синтетического алмаза для эпитаксиальных технологий |
Авторы: | Шаронов, Г. В. Петров, С. А. |
Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
Дата публикации: | мая-2011 |
Издатель: | БГУ |
Библиографическое описание источника: | Вестник Белорусского государственного университета. Сер. 1, Физика. Математика. Информатика. – 2011. - № 2. – С. 49-52. |
Аннотация: | It is determined, that the faultiness of substrate surface coating is characterized by asymmetry of reflection curve in the low-angles range of X-ray diffraction. = Методами дифракции быстрых электронов в режиме «на отражение», дифракции рентгеновских лучей путем анализа профиля кривой дифракционного отражения и интерферометрии была исследована структура и морфология поверхности монокристаллических алмазных подложек (001)-ориентации после их шлифовки и полировки. Установлено, что контролировать качество структурного совершенства приповерхностного слоя подложек можно по степени изменения симметрии на «хвосте» кривой отражения для углов отклонения от брэгговского на 0,02÷0,1°. Обнаружено, что двухсторонняя финишная полировка образцов по сравнению с односторонней приводит к уменьшению величины асимметрии в 2,5÷3,6 раза. |
URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/14077 |
ISSN: | 0321-0367 |
Лицензия: | info:eu-repo/semantics/openAccess |
Располагается в коллекциях: | 2011, №2 (май) |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.