Logo BSU

Please use this identifier to cite or link to this item: http://elib.bsu.by/handle/123456789/133808
Title: Влияние наносекундного лазерного облучения на состояние тонких плёнок TiAlN/Si.
Authors: Ивлев, Г. Д.
Зайков, В. А.
Климович, И. М.
Комаров, Ф. Ф.
Людчик, О. Р.
Keywords: ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Электроника. Радиотехника
Issue Date: 2015
Publisher: Минск : РИВШ
Citation: Квантовая электроника: Материалы X Междунар. науч.-техн. конф., Минск, 9–13 нояб. 2015 г. – Минск, 2015. – С. 187.
Abstract: Исследовались особенности модификации тонких (0,5 мкм) плёнок TiAlN/Si воздействием наносекундного (70 нс) излучения рубинового лазера.
URI: http://elib.bsu.by/handle/123456789/133808
ISBN: 978-985-500-903-1
Appears in Collections:2015. Квантовая электроника

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
187_Ivlev.pdf450,89 kBAdobe PDFView/Open


PlumX

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.