Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120112| Заглавие документа: | СРАВНИТЕЛЬНЫЕ НАБЛЮДЕНИЯ МЕТОДАМИ СПЕКТРАЛЬНОЙ ЭЛЛИПСОМЕТРИИ И ДИФРАКЦИИ ОТРАЖЕННЫХ ЭЛЕКТРОНОВ АМОРФНОГО КРЕМНИЯ, ОБЛУЧЕННОГО НИЗКИМИ ДОЗАМИ ИОНОВ СЕРЕБРА |
| Авторы: | Базаров, В. В. Нуждин, В. И. Валеев, В. В. |
| Тема: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика |
| Дата публикации: | 2015 |
| Аннотация: | Представлены результаты исследований методами спектральной эллипсометрии (СЭ) и дифракции отраженных электронов (ДОЭ) аморфного кремния (α-Si), сформированного на поверхности монокристаллических подложек (c-Si) низкодозовой и низкоэнергетической имплантацией ионов серебра. Имплантация проводилась с энергией 30 кэВ и плотностью ионного тока в пучке 2 мкА/см2 в интервале доз (6.24×1012-1.3×1016) ион/см2 при комнатной температуре облучаемых подложек. Для двух доз имплантации, 6.24×1013 и 1.87×1014 ион/см2, были проведены облучения с различными плотностями ионного тока от 0.1 до 5 мкA/cm2. Показано, что спектральная эллипсометрия является точным и надежным методом контроля технологического процесса низкодозной ионной имплантации. |
| URI документа: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120112 |
| Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Базаров.pdf | 629,95 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.