Logo BSU

Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120100
Заглавие документа: ИОННО-АССИСТИРУЕМОЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛСОДЕРЖАЩИХ ПОКРЫТИЙ НА БЕРИЛЛИЙ
Авторы: Ташлыков, И. С.
Тульев, В. В.
Тема: ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика
Дата публикации: 2015
Аннотация: Исследованы методом резерфордовского обратного рассеяния ионов гелия в сочетании с компьютерным моделированием композиционный состав и распределения элементов по глубине в Ме/Ве-структурах, полученных ионно-ассистируемым осаждением металлсодержащих (Ме = Cr, Ti, Cu, W) покрытий. Исследования показали, что на бериллии формируется поверхностная структура толщиной ~50-60 нм. В состав покрытия входят атомы осажденного металла (0,5-3,3 ат.%), атомы технологических примесей С (0,8-1,8 ат.%) и О (6,3-9,9 ат.%), атомы Ве из подложки. Установлено что содержание кислорода в покрытии возрастает по сравнению с исходным образцом и достигает наибольшего значения при осаждении покрытия на основе Cr и Ti. А содержание углерода в покрытии уменьшается, и достигает своего наименьшего значения при осаждении покрытия на основе W.
URI документа: http://elib.bsu.by/handle/123456789/120100
Располагается в коллекциях:2015. Взаимодействие излучений с твердым телом

Полный текст документа:
Файл Описание РазмерФормат 
Ташлыков2.pdf895,16 kBAdobe PDFОткрыть


Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.