Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот документ:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/120051
Полная запись метаданных
Поле DC | Значение | Язык |
---|---|---|
dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
dc.contributor.author | Голосов, Д. А. | - |
dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
dc.date.accessioned | 2015-10-06T13:39:41Z | - |
dc.date.available | 2015-10-06T13:39:41Z | - |
dc.date.issued | 2015 | - |
dc.identifier.uri | http://elib.bsu.by/handle/123456789/120051 | - |
dc.description.abstract | Проведены исследования профилей эрозии мишени магнетрона при различном уровне несбалансированности магнитной системы. Установлено, что профиль эрозии при постоянном давлении не зависит от режимов распыления, времени и материала мишени. Коэффициент использования материала мишени определяется только параметрами магнитной системы магнетрона и является характеристикой определенной магнетронной распылительной системы. Увеличение коэффициента использования материала мишени достигается за счет устранения фокусирующего действия магнитного поля и изменения кривизны силовых линий магнитного поля при несбалансированной конфигурации магнитного поля. | ru |
dc.language.iso | ru | ru |
dc.subject | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Физика | ru |
dc.title | УВЕЛИЧЕНИЕ КОЭФФИЦИЕНТА ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МАТЕРИАЛА МИШЕНИ ПРИ МАГНЕТРОННОМ РАСПЫЛЕНИИ | ru |
dc.type | conference paper | ru |
Располагается в коллекциях: | 2015. Взаимодействие излучений с твердым телом |
Полный текст документа:
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Достанко-Мельников.pdf | 616,34 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все документы в Электронной библиотеке защищены авторским правом, все права сохранены.