Logo BSU

  1. Электронная библиотека БГУ
  2. Главное управление науки
Даты публикации Авторы Заглавия Темы

Поиск


Текущие фильтры:





Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.

 | 
Результаты 1-6 из 6.
  • назад
  • 1
  • далее
Найденные документы:
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2016Разработка и исследование процессов создания нанопористых материалов на основе структур SiO2/Si, Si3N4/Si для систем микро-, опто- и наноэлектроники методом вытравливания треков : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. А. ВласуковаВласукова, Л. А.; Комаров, Ф. Ф.; Ювченко, В. Н.; Константинов, С. В.
2016Разработка физико-технологических процессов формирования светоизлучающих структур на основе системы SiO2/Si с квантовыми точками полупроводников A2B6 для систем оптоэлектроники : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель А. Ф. КомаровКомаров, А. Ф.; Власукова, Л. А.; Мильчанин, О. В.; Пархоменко, И. Н.; Романов, И. А.
2018Разработать физико-технологические режимы формирования и исследовать параметры приборных структур на основе тонких и сверхтонких нестехиометрических слоев SiNx, 3.3.02.1 : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. А. ВласуковаВласукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Романов, И. А.; Моховиков, М. А.
2018Разработка методик структурно-фазового анализа тонких диэлектрических, металлических и гетероэпитаксиальных полупроводниковых слоев на кремниевых подложках на базе электронной нанодифракции и комбинационного рассеяния света, 3.5.02.3 : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. А. ВласуковаВласукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Мильчанин, О. В.; Моховиков, М. А.
2015Разработка методов структурного и фазового анализа характеристик тонких диэлектрических, металлических и полупроводниковых слоев субмикронных интегральных микросхем с проектными нормами 0,5 - 0,18 мкм на базе просвечивающей электронной микроскопии и комбинационного рассеяния света : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. А. ВласуковаВласукова, Л. А.; Мильчанин, О. В.; Пархоменко, И. Н.; Моховиков, М. А.; Ковалева, Т. Б.
2015Разработка и исследование ионно-пучкового синтеза нанокристаллитов и дислокаций в кремнии с использованием ионной имплантации и термообработок для систем оптоэлектроники : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель Л. А. ВласуковаВласукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Мильчанин, О. В.

Просмотр