Локальные колебательные моды комплексов собственных междоузельных атомов с углеродом и кислородом в кремнии

Abstract

В настоящей работе приведены данные, подтверждающие принадлежность полос у 998 и 991 см-1 комплексам I2CiOi и I3CiOi соответственно. Исследовались кристаллы Si n-типа (легирующая примесь – фосфор) с удельным сопротивлением 5-50 Ом•см, полученные методом Чохральского. Для полос у 991 и 998 см-1 имеет место изотопический сдвиг к 948 и 954 см-1, типичный в этой области волновых чисел для локальных колебательных мод (ЛКМ) кислородосодержащих центров в кремнии. Эффективного формирования комплексов CiCs и InCiCs (n ≥ 1) следует ожидать в кристаллах Si, в которых углерод является доминирующей примесью.