Please use this identifier to cite or link to this item:
https://elib.bsu.by/handle/123456789/104598
Title: | Программа "Тонкопленочные сенсоры" |
Authors: | Савицкий, Александр Александрович |
Keywords: | ЭБ БГУ::ЕСТЕСТВЕННЫЕ И ТОЧНЫЕ НАУКИ::Химия ЭБ БГУ::ТЕХНИЧЕСКИЕ И ПРИКЛАДНЫЕ НАУКИ. ОТРАСЛИ ЭКОНОМИКИ::Приборостроение |
Issue Date: | 2011 |
Abstract: | Целью спецкурса является расширение и углубление знаний студентов о механизме формирования и роста пленок различных материалов (металлов, полупроводников, диэлектриков) на изотропных и поликристаллических подложках, физических, химических и электрофизических свойствах тонкопленочных структур, методах их получения и использования для создания химических сенсоров и микросистем в электронной и радиоэлектронной промышленности. При изложении курса основной упор делается на физико-химическое рассмотрение процессов взаимодействия потоков частиц с поверхностью кремниевой подложки, использование понятия «константа равновесия» процессов высокотемпературного разложения силана и других соединений, используемых при производстве микросистем. Знание физико-химических основ процессов эпитаксии позволит будущим специалистам легко освоить современное производство микросхем, а также воспринять новые нанотехнологические схемы производства. |
URI: | http://elib.bsu.by/handle/123456789/104598 |
Appears in Collections: | Архив (Химия) |
Files in This Item:
File | Description | Size | Format | |
---|---|---|---|---|
Савицкий - Тонкопленочные сенсоры.pdf | 294,16 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.