Просмотр Авторы Чёрный, В. Е.
Результаты 1 - 3 из 3
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 1999 | Контроллер управления расходами газов в технологических процессах ионно-плазменного и ионно-лучевого осаждения многослойных покрытий | Бурмаков, А. П.; Игнатенко, И. И.; Коротков, К. Б.; Чёрный, В. Е. |
| 2003 | Контроль процесса магнетронного осаждения пленок TiO2 c помощью малогабаритного спектрометра SL40-2 | Бурмаков, А. П.; Кулешов, В. Н.; Чёрный, В. Е. |
| 2001 | Управление расходом газов в процессах ионно-лучевого осаждения покрытий на основе оксидов | Бурмаков, А. П.; Никифоренко, Н. Н.; Чёрный, В. Е. |