Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2014 | Влияние водородной обработки на структурные свойства пленок Si / SiGe, выращенных методом химического осаждения из газовой фазы при низком давлении | Новиков, А. Г.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И. |
| 2011 | ВЛИЯНИЕ ИОННОГО ЛЕГИРОВАНИЯ НА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕCКИЕ СВОЙСТВА МОП СТРУКТУР С НАНОКРИСТАЛЛАМИ Ge | Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю. |
| 2018 | Влияние структуры знаков совмещения на их «читаемость» после эпитаксиального наращивания кремния | Наливайко, О. Ю.; Бахматова, Н. А.; Ковальчук, Н. C.; Турцевич, А. С.; Ратино, А. К. |
| 2018 | Выращивание эпитаксиальных слоев кремния с использованием трихлорсилана | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Рудницкий, К. В.; Шамплет, А. В.; Нагаев, И. А. |
| 2021 | ИК прозрачность структур с островковым поверхностным слоем, сформированным методом селективного лазерного отжига | Мухаммад, А. И.; Наливайко, В. О.; Кошелев, И. Р.; Ивлев, Г. Д.; Гайдук, П. И.; Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В. |
| 2008 | Использование вертикальных реакторов пониженного давления для осавдения пленок поликристаллического кремния, нитрида кремния и оксида кремния | Наливайко, О. Ю.; Сухан, В. В.; Плебанович, В. И.; Каленик, В. И. |
| 2008 | Исследование влияния условии осаждения на структуру и морфологические свойства слоев поликристаллического кремния, легированного в процессе роста кислородом | Турцевич, А. С.; Наливайко, О. Ю.; Гайдук, П. И.; Лепешкевич, Г. В. |
| 2017 | Исследование начальных стадий роста пленок Si1-хGeх в горизонтальном реакторе пониженного давления | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Жигулин, Д. В.; Наливайко, В. О. |
| 2015 | Исследование начальных стадий роста пленок германия в горизонтальном реакторе пониженного давления. | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Жигулин, Д. В. |
| 2018 | Исследование процессов формирования и электрофизических свойств гетероструктур PtSi/poly-Si для разработки на их основе микроболометров : отчет о научно-исследовательской работе (заключительный) / БГУ ; научный руководитель П. И. Гайдук | Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А. |
| 2013 | Морфология и электрофизические свойства структур PtSi/Si, сформированных на аморфном кремнии | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Чиж, К. В.; Резник, В. Я.; Юрьев, В. А.; Новиков, А.; Гайдук, П. И. |
| 2016 | Оптимизация процесса химико-механической полировки вольфрама для формирования межсоединений субмикронных ИМС | Наливайко, О. Ю.; Роговой, В. И.; Турцевич, А. С. |
| 2010 | ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА СЛОЕВ ПОЛИ-Ge НА КРЕМНИИ, ПОЛУЧЕННЫХ МЕТОДОМ ХИМИЧЕСКОГО ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ГАЗОВОЙ ФАЗЫ | Зайков, В. А.; Гайдук, П. И.; Карпович, В. Б.; Наливайко, О. Ю. |
| 2018 | Осаждение пленок оксида кремния с использованием плазменной активации при производстве интегральных схем | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Лепешкевич, Г. В.; Пшеничный, E. Н. |
| ноя-2019 | Осаждение пленок поликристаллического кремния, легированного в процессе роста фосфором, в вертикальном реакторе пониженного давления | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Завадский, С. М.; Жигулин, Д. В. |
| 2024 | Плазмонное поглощение инфракрасного излучения в периодических структурах Si /Si3N4 /SiO2 /Si /Al с окошечным поверхностным слоем | Мухаммад, А. И.; Наливайко, О. Ю.; Колос, В. В.; Гайдук, П. И. |
| 2023 | Повышение селективности плазмохимического травления SiO2/Si при использовании смеси CHF3/CF4 | Наливайко, О. Ю.; Карась, О. В.; Дорохович, К. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2010 | Разработать и исследовать структуры Si/SiO2/Si с двумерными массивами нанокристаллов Ge для энергонезависимых элементов памяти : отчет о НИР(заключительный) / БГУ; науч. рук. Гайдук, П. И. | Гайдук, П. И.; Пшеничный, Е. Н.; Наливайко, О. Ю.; Зайков, В. А.; Новиков, А. Г.; Прокопьев, С. Л.; Дорошкевич, М. А.; Терентьева, О. В.; Пилько, В. В.; Камышан, А. С.; Ивлев, Г. Д.; Гацкевич, Е. И.; Раткевич, С. В.; Борисевич, В. М.; Васильев, Ю. Б.; Рудницкий, К. В.; Лысюк, А. А.; Лепешкевич, Г. В.; Осипов, В. Е.; Чигирь, Г. Г.; Простов, И. В.; Заборовский, Г. А.; Латушко, А. А.; Яцко, К. В. |
| 2013 | Разработка и исследование процессов выращивания кремний-германиевых гетероструктур для создания полупроводниковых приборов : отчет о научно- исследовательской работе (заключительный) / научный руководитель П. И. Гайдук | Гайдук, П. И.; Новиков, А. Г.; Ивлев, Г. Д.; Зайков, В. А.; Прокопьев, С. Л.; Пархоменко, И. Н.; Шевцова, В. И.; Антонович, M. Л.; Наливайко, О. Ю.; Рудницкий, К. В.; Пшеничный, Е. Н.; Лепешкевич, Г. В.; Прокофьев, В. М. |
| 2022 | Сегрегационно-индуцированное формирование нанокристаллов Ge в оксиде кремния | Наливайко, О. Ю.; Турцевич, А. С.; Плебанович, В. И.; Гайдук, П. И. |