Logo BSU

Browsing by Author Горушко, В. А.

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

or enter first few letters:  
Showing results 1 to 20 of 21  next >
PreviewIssue DateTitleAuthor(s)
2018Влияние быстрой термической обработки исходных кремниевых пластин на процесс их пирогенного окисленияАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2011ВЛИЯНИЕ БЫСТРОЙ ТЕРМООБРАБОТКИ НА СТРУКТУРУ TiSi2 И ПРОВОДИМОСТЬ ШИН МЕТАЛЛИЗАЦИИ НА ЕГО ОСНОВЕПилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Шведов, С. В.
May-2011Влияние вертикального масштабирования на статические и динамические параметры биполярных микросхемПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В.
May-2007Влияние лазерного геттерирования на структурные и электрические параметры эпитаксиальных слоев кремнияПилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
Jan-2008Влияние лазерного геттерорирования кремниевых пластин на свойства границы раздела Si – SIO2Пилипенко, В. А.; Вечер, Д. В.; Понарядов, В. А.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2007Влияние лазерной обработки импульсами наносекундной длительности на поверхностные свойства кремнияПилипенко, В. А; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, B. C.; Петлицкая, Т. В.
May-2006Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработкеПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В.
Jan-2009Особенности лавинного пробоя перехода коллектор - база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2008Особенности лавинного пробоя перехода коллектор-база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2018Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.
2001Особенности структуры и фазовых переходов в системе титан-кремний при быстрой термообработкеПилипеико, В. А.; Пономарь, В. Н.; Понарядов, В. В.; Пилипенко, И. В.; Горушко, В. А.
May-2010Особенности формирования базового диэлектрика при вертикальном масштабировании микросхемПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2015Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработкеГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.
2013Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТОПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В.
1998Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработкиПономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.
2017Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнииАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2013Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработкиГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.
2017Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработкиПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А.
1998Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработкиПилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.; Янченко, А. М.
2003Формирование ионнолегированных слоев в поликремнии c применением быстрой термообработкиПилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.