Просмотр Авторы Величко, О. И.
Результаты 1 - 11 из 11
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2012 | МЕЖУЗЕЛЬНАЯ ДИФФУЗИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В КРИСТАЛЛИЧЕСКОМ КРЕМНИИ | Величко, О. И.; Ковалева, А. П. |
| 2013 | Моделирование высококонцентрационной диффузии фосфора в кристаллическом кремнии | Величко, О. И.; Аксенов, В. В.; Ануфриев, Л. П.; Голубев, Н. Ф.; Комаров, А. Ф. |
| 2007 | Моделирование диффузии мышьяка в системе SiO2/Si при низкоэнергетической имплантации и коротком термическом отжиге | Величко, О. И.; Заяц, Г. М.; Комаров, А. Ф.; Миронов, A. M.; Цурко, В. А. |
| 2011 | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В РАЗЛИЧНЫХ УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ | Величко, О. И.; Ковалева, А. П. |
| 2010 | МОДЕЛИРОВАНИЕ ПРОЦЕССА ПЕРЕРАСПРЕДЕЛЕНИЯ АТОМОВ БОРА ПРИ ОТЖИГЕ СЛОЕВ КРЕМНИЯ, СОЗДАННЫХ ВЫСОКОДОЗНОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНОВ | Величко, О. И.; Гундорина, Е. А. |
| 2013 | Моделирование процессов переноса водорода в кри- сталлическом кремнии при его обработке в водород- содержащей плазме | Величко, О. И. |
| 2011 | НЕКОТОРЫЕ ОСОБЕННОСТИ ПЕРЕНОСА ИОННО-ИМПЛАНТИРОВАННОГО БОРА В УСЛОВИЯХ ПОДАВЛЕНИЯ СКОРОТЕЧНОЙ ДИФФУЗИИ | Величко, О. И.; Гундорина, Е. А.; Аксенов, В. В. |
| 2014 | Основные требования к научно-исследовательской работе студентов | Величко, О. И. |
| 2016 | Особенности вида профилей распределения примеси, формируемых миграцией неравновесных примесных атомов | Величко, О. И. |
| 2018 | Процессы кластерообразования фосфора и бора в кремнии | Величко, О. И. |
| 2014 | Радиационно-стимулированная диффузия атомов фосфора в кремнии | Величко, О. И. |