Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2017 | Особенности возникновения структурных дефектов в сильнолегированном Si при диффузии фосфора | Беляев, А. Е.; Болтовец, Н. С.; Конакова, Р. В.; Кладько, В. П.; Любченко, О. И.; Саченко, А. В.; Сафрюк, Н. В.; Шинкаренко, В. В.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Ходин, А. А.; Романец, П. Н.; Кудрик, Я. Я. |
| 2018 | Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| 2015 | Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработке | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
| 2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2017 | Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
| 2015 | УПРАВЛЯЕМАЯ ТРАНСФОРМАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ КРЕМНИЕВЫХ БИПОЛЯРНЫХ МОЩНЫХ СВЧ-ТРАНЗИСТОРОВ ИОННЫМИ ПУЧКАМИ | Солодуха, В. А.; Снитовский, Ю. П. |
| 2012 | ФОРМИРОВАНИЕ БАРЬЕРОВ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ СИЛИЦИДНОГО НИКЕЛЬ-ПЛАТИНОВОГО СПЛАВА | Солодуха, В. А.; Турцевич, А. С.; Соловьев, Я. А.; Комаров, Ф. Ф.; Мильчанин, О. В.; Ковалева, Т. Б. |
| 2020 | Формирование полупроводниковых приборов с диодами Шоттки с использованием быстрой термообработки | Соловьёв, Я. А.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Жигулин, Д. В.; Ацецкая, Е. С.; Сарычев, О. Э. |
| 2019 | Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремний | Солодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO2 на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
| 2021 | Электролюминесценция пленок SiO[2] на Si, полученных термическим окислением и плазмохимическим осаждением | Романов, И. А.; Ковальчук, Н. С.; Власукова, Л. А.; Пархоменко, И. Н.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Шестовский, Д. В.; Демидович, С. А. |
| 2019 | Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |