| Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2024 | Механизм взаимодействия алюминия с поликремнием при формировании омического контакта методами длительной и быстрой термообработок | Пилипенко, В. А.; Ковальчук, Н. С.; Жигулин, Д. В.; Шестовский, Д. В.; Анищик, В. М.; Понарядов, В. В. |
| мая-2006 | Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработке | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В. |
| 2000 | Оборудование для быстрой термообработки (БТО) в технологии создания СБИС | Точицкий, Я. И.; Матюшков, В. Е.; Русецкий, А. М.; Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. М.; Людчик, О. Р. |
| 2017 | Образование высокопоглощающих нано- и микроструктур на поверхности металлов при наносекундном лазерном воздействии | Батище, С. А.; Бушук, С. Б.; Пилипенко, В. А.; Татур, Г. А.; Жигулин, Д. В. |
| 2023 | Образование фиксированного заряда в SiO2, полученным пирогенным окислением кремния | Пилипенко, В. А.; Омельченко, А. А. |
| 2017 | Особенности возникновения структурных дефектов в сильнолегированном Si при диффузии фосфора | Беляев, А. Е.; Болтовец, Н. С.; Конакова, Р. В.; Кладько, В. П.; Любченко, О. И.; Саченко, А. В.; Сафрюк, Н. В.; Шинкаренко, В. В.; Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Ходин, А. А.; Романец, П. Н.; Кудрик, Я. Я. |
| янв-2009 | Особенности лавинного пробоя перехода коллектор - база субмикронного биполярного транзистора | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2008 | Особенности лавинного пробоя перехода коллектор-база субмикронного биполярного транзистора | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2018 | Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| мая-2010 | Особенности формирования базового диэлектрика при вертикальном масштабировании микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2015 | Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработке | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
| 2013 | Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В. |
| 2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2002 | Перераспределение элементного состава и изменение структуры в плёнках Си-С60 при отжиге | Шпилевский, Э. М.; Баран, Л. В.; Пилипенко, В. А.; Ухов, В. А. |
| 1998 | Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработки | Пономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И. |
| 2017 | Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2021 | Проект «Цифровой бейдж»: обоснование замысла | Антонов, М. П.; Пилипенко, В. А.; Королева, Е. Н. |
| 2023 | Распределение эрбия по толщине золь-гель пленок титаната бария | Стаськов, Н. И.; Лашковская, Е. И.; Гапоненко, Н. В.; Корнилова, Ю. Д.; Омельченко, А. А.; Пилипенко, В. А.; Чудаков, Е. А.; Сотский, А. Б.; Сотская, Л. И.; Бойко, А. А.; Семченко, А. В. |
| 2013 | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
