Logo BSU

Просмотр Авторы Горушко, В. А.

Перейти: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z

А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я

или введите несколько первых символов:  
Результаты 9 - 26 из 26 < предыдущий 
Предварительный просмотрДата выпускаЗаглавиеАвтор(ы)
2021Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработкиАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.; Омельченко, А. А.
мая-2006Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработкеПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В.
янв-2009Особенности лавинного пробоя перехода коллектор - база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2008Особенности лавинного пробоя перехода коллектор-база субмикронного биполярного транзистораПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2018Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.
2001Особенности структуры и фазовых переходов в системе титан-кремний при быстрой термообработкеПилипеико, В. А.; Пономарь, В. Н.; Понарядов, В. В.; Пилипенко, И. В.; Горушко, В. А.
мая-2010Особенности формирования базового диэлектрика при вертикальном масштабировании микросхемПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В.
2015Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработкеГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В.
2013Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТОПилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В.
2019Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрикаАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
1998Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработкиПономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.
2017Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнииАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.
2013Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработкиГорушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.
2017Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработкиПилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А.
1998Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработкиПилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.; Янченко, А. М.
2003Формирование ионнолегированных слоев в поликремнии c применением быстрой термообработкиПилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.
2019Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремнийСолодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А.
2019Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработкиАнищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.