Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2021 | Изменение оптических параметров кремния после быстрой термической обработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А.; Омельченко, А. А. |
| мая-2006 | Модель термического окисления кремния при быстрой термической обработке | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Вечер, Д. В.; Горушко, В. А.; Петлицкая, Т. В. |
| янв-2009 | Особенности лавинного пробоя перехода коллектор - база субмикронного биполярного транзистора | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2008 | Особенности лавинного пробоя перехода коллектор-база субмикронного биполярного транзистора | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2018 | Особенности режимов формирования силицида платины при быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
| 2001 | Особенности структуры и фазовых переходов в системе титан-кремний при быстрой термообработке | Пилипеико, В. А.; Пономарь, В. Н.; Понарядов, В. В.; Пилипенко, И. В.; Горушко, В. А. |
| мая-2010 | Особенности формирования базового диэлектрика при вертикальном масштабировании микросхем | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Сякерский, В. С.; Петлицкая, Т. В. |
| 2015 | Оценка равномерности нагрева поверхности полупроводниковых пластин при быстрой термической обработке | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Петлицкая, Т. В.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
| 2013 | Оценка равномерности облучения полупроводниковых пластин в камере установки БТО | Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Горушко, В. А.; Турцевич, А. С.; Шведов, С. В.; Петлицкая, Т. В. |
| 2019 | Перераспределение примеси в ионно-легированных слоях при быстрой термообработке подзатворного диэлектрика | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 1998 | Планаризация поверхности изолирующего диэлектрика с использованием быстрой термической обработки | Пономарь, В. Н.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И. |
| 2017 | Применение быстрой термической обработки для отжига ионно-легированных слоев в поликремнии | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |
| 2013 | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
| 1998 | Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.; Янченко, А. М. |
| 2003 | Формирование ионнолегированных слоев в поликремнии c применением быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А. |
| 2019 | Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремний | Солодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А. |
| 2019 | Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |