Просмотр Авторы Горушко, В. А.
Результаты 21 - 26 из 26
< предыдущий
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
| 2013 | Расчет равномерности нагрева поверхности кремниевых пластин в камере установки быстрой термической обработки | Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В. |
| 2017 | Стабилизация параметров границы раздела Si-SiO2 c помощью быстрой термической обработки | Пилипенко, В. А.; Солодуха, В. А.; Горушко, В. А.; Филипеня, В. А. |
| 1998 | Улучшение термостабильности пленок алюминия и его сплавов на кремнии с использованием быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А.; Тарасик, М. И.; Янченко, А. М. |
| 2003 | Формирование ионнолегированных слоев в поликремнии c применением быстрой термообработки | Пилипенко, В. А.; Пономарь, В. Н.; Горушко, В. А. |
| 2019 | Характеризация методом рор процесса формирования слоев силицида платины при быстрой термообработке системы платина-кремний | Солодуха, В. А.; Мильчанин, О. В.; Пилипенко, В. А.; Ушаков, И. В.; Горушко, В. А. |
| 2019 | Электропроводность пленок силицида платины, сформированных с применением быстрой термообработки | Анищик, В. М.; Горушко, В. А.; Пилипенко, В. А.; Понарядов, В. В.; Солодуха, В. А. |