Просмотр Авторы Варлачев, В. А.
Результаты 3 - 4 из 4
< предыдущий
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2019 | Проблемы облучения монокристаллического кремния большого диаметра | Аникин, М. Н.; Лебедев, И. И.; Смольников, Н. В.; Наймушин, А. Г.; Варлачев, В. А. | |
2019 | Создание установки для легирования монокристаллического кремния большого диаметра | Лебедев, И. И.; Смольников, Н. В.; Аникин, М. Н.; Наймушин, А. Г.; Варлачев, В. А. |