Просмотр Авторы Ясюнас, А. А.
Результаты 5 - 5 из 5
< предыдущий
Предварительный просмотр | Дата выпуска | Заглавие | Автор(ы) |
---|---|---|---|
2011 | ПРОЦЕСС ПЛАЗМЕННОГО ТРАВЛЕНИЯ ПРИ СОЗДАНИИ СТРУКТУРЫ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ | Котов, Д. А.; Ясюнас, А. А. |